TY  - BOOK
AU  - Петрова,Л.В.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Ионное легирование при изготовлении МОП-структур: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Ионное легирование
N1  - Библиогр.: с. 21 - 30
ER  -