Петрова, Л.В. <br/><br/>
Ионное легирование при изготовлении МОП-структур :  Обзоры по электронной технике / 
Л.В. Петрова; Министерство электронной промышленности СССР. 
 - Москва :  Электроника,  1971. 
 - 32 с.  рис. 
 - Полупроводниковые приборы  Вып. 7 (289) .
<br/><br/>Библиогр.: с. 21 - 30. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Ионное легирование