TY  - BOOK
AU  - Пичугин,Игорь Геннадиевич
AU  - Таиров,Ю.М.
TI  - Технология полупроводниковых приборов: Учебное пособие 
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
ER  -