Попов, Владимир Фёдорович. <br/><br/>
Процессы и установки электронно-ионной технологии :  Учебное издание / 
В.Ф. Попов, Ю.Н. Горин. 
 - Москва :  Высшая школа,  1988. 
 - 255 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 250 - 251 (43 назв.); Предм. указ.: с. 252 - 253. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-06-001480-0 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электронная технология<br/>Ионная технология<br/>Молекулярные потоки