TY  - BOOK
AU  - Палатник,Лев Самойлович
AU  - Сорокин,Вадим Константинович
TI  - Материаловедение в микроэлектронике
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр.: с. 268 - 278 (137 назв.)
ER  -