Палатник, Лев Самойлович <br/><br/>
Материаловедение в микроэлектронике / 
Л.С. Палатник, В.К. Сорокин. 
 - Москва :  Энергия,  1977. 
 - 280 с. :  ил. 
 - Электронное материаловедение .
<br/><br/>Библиогр.: с. 268 - 278 (137 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника