Онегин, Е.Е. <br/><br/>
Точное машиностроение для микроэлектроники / 
Е.Е. Онегин. 
 - Москва :  Радио и связь,  1986. 
 - 88 с. 
 - Массовая библиотека инженера "Электроника" .
<br/><br/>Библиогр: с. 86 - 87(29 назв. ) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника