TY  - BOOK
AU  - Мьюрарка,Ш.
AU  - Баранов,В.В.
AU  - Чистяков,Ю.Д.
TI  - Силициды для СБИС
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Силициды
N1  - Библиогр. 42 назв; Оригинал на англ.; S.P. Murarka -; New York : by Bell Telephone Laboratories, Inc. : 1983
ER  -