Мьюрарка, Ш. <br/><br/>
Силициды для СБИС / 
Ш. Мьюрарка ; Пер. с англ. В.В. Баранова ; Под ред. Ю.Д. Чистякова. 
 - Москва :  Мир,  1986. 
 - 176 с. :  ил. 
<br/><br/>
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Силициды