TY  - BOOK
AU  - Моряков,Олег Сергеевич
TI  - Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: Учебник для средн. проф.-техн. училищ 
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковая электроника
N1  - Библиогр.: с. 316
ER  -