TY  - BOOK
AU  - Моряков,Олег Сергеевич
TI  - Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: Учебник для профтехучилищ 
PY  - 1974///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковое производство - Термические процессы
N1  - Библиогр.: с. 139
ER  -