Моряков, Олег Сергеевич. <br/><br/>
Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве :  Учебник для профтехучилищ / 
О.С. Моряков. 
 - Москва :  Высшая школа,  1974. 
 - 141 с. :  ил. 
 - Профтехобразование. Полупроводники .
<br/><br/>Библиогр.: с. 139. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковое производство - Термические процессы