TY  - BOOK
AU  - Моряков,Олег Сергеевич
TI  - Термические процессы в микроэлектронике: Учебник для профтехучилищ 
PY  - 1987///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Микроэлектроника - Термические процессы
N1  - Библиогр.: с. 197
ER  -