Моряков, Олег Сергеевич. Термические процессы в микроэлектронике : Учебник для профтехучилищ / О.С. Моряков. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1987. - 200 с. ил. Библиогр.: с. 197. Subjects--Topical Terms: Микроэлектроника - Термические процессы