TY  - BOOK
AU  - Невсцкий,Ю.А.
AU  - Нудельман,А.С.
AU  - Трубецкой,А.И.
ED  - Министерство электронной промышленности СССР
TI  - Методы контроля, используемые в производстве тонкопленочных и твердых микросхем: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике. Обзор № 12 
PY  - 1967///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N1  - Библиогр.: с. 59 - 60(60 назв.)
ER  -