TY  - BOOK
AU  - Николаев,Игорь Моисеевич
TI  - Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов: Учебное пособие 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
N1  - Библиогр.: с. 267 (19 назв.)
ER  -