TY  - BOOK
AU  - Мокеев,О.К.
AU  - Романов,А.С.
TI  - Технология полупроводникового производства: Программированное пособие. Учебное пособие для тех. училищ 
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводники
N1  - Библиогр.: с. 173
ER  -