Мокеев, О.К. <br/><br/>
Технология полупроводникового производства :  Программированное пособие. Учебное пособие для тех. училищ / 
О.К. Мокеев, А.С. Романов. 
 - Москва :  Высшая школа,  1984. 
 - 176 c.  ил. 
 - Профессионально-техническое образование .
<br/><br/>Библиогр.: с. 173 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники