TY  - BOOK
AU  - Литовченко,В.Г.
AU  - Федорович,Ю.В.
ED  - Мин-во электронной промышленности СССР
TI  - Диэлектрические покрытия в планарной технологии: Обзоры по электронной технике 
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Планарная технология
N1  - Библиогр.: с. 96 - 98
ER  -