Материалы для электроники (методы получения и анализа, исследования свойств) :  Сборник научных трудов / 
ВНИИРеактивэлектрон. 
 - Москва :  НИИТЭХИМ,  1981. 
 - 152 с. :  табл. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника