TY  - BOOK
AU  - Малышева,И.А.
TI  - Технология производства интегральных микросхем: Учебник для техникумов 
SN  - 5-256-00861-7
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Интегральные микросхемы
N1  - Библиогр.: с.338 (16назв.)
ER  -