Малышева, И.А. <br/><br/>
Технология производства интегральных микросхем :  Учебник для техникумов / 
И.А. Малышева. 
 - 2-е изд., перераб. и доп. Предм. указ.: с. 338 - 342 
 - Москва :  Радио и связь,  1991. 
 - 344 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с.338 (16назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-256-00861-7 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Интегральные микросхемы