TY  - BOOK
AU  - Всесоюзное НТО радиотехники,электроники и связи
ED  - Всесоюзная научно-техническая конференция
TI  - Метрологические проблемы микроэлектроники: Тезисы докладов: Всесоюзная научно-техническая конференция (июнь 1991, Менделеево) 
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Конференция - тезисы докладов
ER  -