Метрологические проблемы микроэлектроники :  Тезисы докладов: Всесоюзная научно-техническая конференция (июнь 1991, Менделеево) / 
Всесоюзное НТО радиотехники, электроники и связи. 
 - Москва :  Радио и связь,  1991. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Конференция - тезисы докладов