Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов / 
А.И. Татаренков, К.Л. Енишерлова, Т.Ф. Русак, В.Н. Гриднев. 
 - Москва :  Энергия,  1978. 
 - 64 с.  ил., табл. 
 - Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры .
<br/><br/>Библиогр.: с. 59 - 63 (70 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Обработка монокристаллов