Курносов, А.И. <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых приборв и интегральных микросхем :  Учебное пособие / 
А.И Курносов, В.В. Юдин. 
 - 3-е изд., перераб. и доп. 
 - Москва :  Высшая школа,  1986. 
 - 368 с.  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы