TY  - BOOK
AU  - Киреев,В.Ю.
AU  - Данилин,Б.С.
AU  - Кузнецов,В.И.
TI  - Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Электроника
N1  - Библиогр.: с. 121 - 125(92 назв.)
ER  -