Киреев, В.Ю. <br/><br/>
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / 
В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. 
 - Москва :  Радио и связь,  1983. 
 - 128 c. :  ил. 
 - Массовая бибилиотека инженера "Электроника"  Вып. 36 .
<br/><br/>Библиогр.: с. 121 - 125(92 назв.) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника