Статическое электричество при производстве полупроводниковых изделий : Обзоры по электронной технике /
В.А. Каверзнев, Ю.А. Овечкин, В.М. Петров; Мин-во электронной промышленности СССР.
- Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973.
- 38 с. ил., схем.
- Технология и организация производства, оборудование. Вып. 20 .