TY  - BOOK
AU  - Ефимов,Иван Ефимович
AU  - Козырь,Иван Яковлевич
AU  - Горбунов,Юрий Иванович
TI  - Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Микроэлектроника - Учебники и пособия
N1  - Библиогр.: с. 412-414
ER  -