Ефимов, Иван Ефимович Микроэлектроника : Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. - Москва : Высшая школа, 1977. - 416 с. : ил. Библиогр.: с. 412-414 Subjects--Topical Terms: Микроэлектроника - Учебники и пособия