TY  - BOOK
ED  - Научный Совет АН СССР по проблеме "Физика и химия полупроводников" Сибирское отделение АН АССР
TI  - Ионно - лучевая модификация полупроводников и других материалов микроэлектроники: Всесоюзная конференция 
PY  - 1991///
CY  - Новосибирск
PB  - Б. и.
KW  - Микроэлектроника
ER  -