Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: Обзоры по электронной технике /
Л.Я. Глазштейн, Ф.П. Пресс; Ред. А.В. Панюшкин; Министерство электронной промышленности СССР.
- Москва : Институт "Электроника", 1970.
- 106 с. ил.
- Полупроводниковые приборы вып. 2(167) .