TY  - BOOK
AU  - Данилин,Б.С.
AU  - Киреев,В.Ю.
AU  - Ларионова,М.В.
TI  - Ионное травление микроструктур
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Электроника
KW  - Электроника
N1  - Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)
ER  -