TY  - BOOK
AU  - Глазков,Илья Михайлович
TI  - Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - "Советское радио"
KW  - Оборудование фотошаблонов и литографии
N1  - Библиогр.: с. 69 - 72 (83 назв.)
ER  -