TY  - BOOK
AU  - Джоветт,Ч.Е.
AU  - Кондаков,М.И.
AU  - Соколов,Е.Б.
TI  - Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники=: The Engineering of Microelectronic Thin and Thick Films: Пер. с англ. 
PY  - 1980///
CY  - Москва
PB  - Изд-во "Металлургия"
KW  - Технология тонких и толстых пленок
N1  - Библиогр.: 120 назв
ER  -