TY  - BOOK
AU  - Вейко,Вадим Павлович
AU  - Метев,Симеон Методиев
ED  - Софийский университет им. Климента Охридского
ED  - Ленинградский институт точной механики и оптики
TI  - Лазерные технологии в микроэлектронике =: Laser technologies in microelectronics 
PY  - 1991///
CY  - София
PB  - Изд-во Болг. акад. наук
KW  - Микроэлектроника - Лазерные технологии
N1  - Библиогр.: с. 343-361
ER  -