Лазерные технологии в микроэлектронике = Laser technologies in microelectronics /
Laser technologies in microelectronics
В.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики.
- София : Изд-во Болг. акад. наук, 1991.
- 363 с. ил.