Вейко, Вадим Павлович <br/><br/>
Лазерные технологии в микроэлектронике =  Laser technologies in microelectronics / 
 Laser technologies in microelectronics 
В.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. 
 - София :  Изд-во Болг. акад. наук,  1991. 
 - 363 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 343-361 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Лазерные технологии