TY  - BOOK
AU  - Богданович,Б.Ю.
AU  - Графутин,В.И.
AU  - Калугин,В.В.
AU  - Нестерович,А.В.
AU  - Прокопьев,Е.П.
AU  - Тимошенков,С.П.
AU  - Чаплыгин,Ю.А.
ED  - Министерство образования Российской Федерации
ED  - Министерство Российской Федерации по атомной энергии
ED  - Московский государственный институт электронной техники ( технический университет )
ED  - Московский инженерно-физический институт ( государственный университет )
ED  - Институт теоретической и экспериментальной физики ФГУП ГНЦ РФ
TI  - Технологии и методы исследования структур КНИ
SN  - 5-7256-0320-2
PY  - 2003///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Электроника
KW  - Микроэлектроника
KW  - Структуры "кремний на изоляторе" ( КНИ )
N1  - Библиогр. в конце глав
ER  -