Технологии и методы исследования структур КНИ / 
Б.Ю.Богданович, В.И.Графутин, В.В.Калугин и др.; М-во образования РФ. М-во РФ по атом. энергии. Моск. гос. ин-т электр. техники ( техн. ун-т ). МИФИ ( гос. ун-т ). ФГУП ГНЦ РФ ин-т теорет. и эксперимент. физики. 
 - Москва :  МИЭТ,  2003. 
 - 288 с.  граф., рис., табл. ;  22 см. 
<br/><br/>Библиогр. в конце глав. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-7256-0320-2 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Электроника<br/>Микроэлектроника<br/>Структуры "кремний на изоляторе" ( КНИ )