TY  - BOOK
AU  - Ulm,Markus
TI  - Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich: Abhandlung 
PY  - 2003///
CY  - Stuttgart
PB  - Inst. für Halbleitertechnik
KW  - Electrotechnics
N1  - Bibliogr.: p. xix-xxviii
ER  -