Ulm, Markus <br/><br/>
Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich :  Abhandlung / 
Markus Ulm. 
 - Stuttgart :  Inst. für Halbleitertechnik,  2003. 
 - xii, 130, xxviii p.  ill. 
<br/><br/>Bibliogr.: p. xix-xxviii 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Electrotechnics