TY - BOOK ED - Երևանի Կ. Մարքսի անվան պոլիտեխնիկական ինստիտուտ TI - Միկրոէլեկտրոնիկայի, ՌԷՍ-ի և ԷՀՄ-ի արտադրության տեխնոլոգիայի ֆիզիկաքիմիական հիմունքները: Դասախոս. տեքստ PY - 1987/// CY - Երևան KW - Միկրոէլեկտրոնիկա KW - Տեխնոլոգիա N1 - Մատենագիտ. : էջ 66 ER -