TY  - BOOK
AU  - Андреева,А.Ф.
ED  - Академия наук Украинской ССР
ED  - Инcтитут проблем материаловедения им. И.Н. Францевича АН УССР
TI  - Получение и свойства тонких пленок: Сб. науч. тр. 
SN  - 5-7702-0139-8
PY  - 1990///
CY  - Киев
PB  - ИПМ
KW  - Пленки тонкие
KW  - Микроэлектроника
KW  - Пленки тонкие - Сборники
N1  - Библиогр. в конце тр
ER  -