Получение и свойства тонких пленок :  Сб. науч. тр. / 
АН УССР. Ин-т пробл. материаловедения им. И.Н. Францевича ; Науч. совет АН УССР по пробл. "Физика твердого тела" ; Редкол.: А.Ф. Андреева (отв. ред.) и др. 
 - Киев :  ИПМ,  1990. 
 - 132 с.  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце тр. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-7702-0139-8 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Пленки тонкие--Микроэлектроника
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Пленки тонкие - Сборники