TY  - BOOK
AU  - Боуэн,Д.К.
AU  - Таннер,Б.К.
AU  - Шульпина,И.Л.
AU  - Шульпина,И.Л.
AU  - Аргунова,Т.С.
TI  - Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография =: High resolution x-ray diffractometry and topography 
SN  - 5-02-024963-7
PY  - 2002///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Наука
KW  - Электронная техника
KW  - Кристаллофизика
KW  - Радиотехнические материалы и изделия
KW  - Полупроводниковые материалы
KW  - Исследования
KW  - Рентгеновские методы исследований
KW  - Анализ эпитаксиальных слоев
KW  - Анализ тонких пленок и многослойных систем
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -