Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография = High resolution x-ray diffractometry and topography /
High resolution x-ray diffractometry and topography
Д.К. Боуэн, Б.К. Таннер ; Отв. ред.: И.Л. Шульпина ; Пер. с англ. И.Л. Шульпиной, Т.С. Аргуновой.
- Санкт-Петербург : Наука, 2002.
- 273 с. ил.
Библиогр. в конце гл.
5-02-024963-7
Электронная техника Кристаллофизика Радиотехнические материалы и изделия--Полупроводниковые материалы--Исследования--Рентгеновские методы исследований
Анализ эпитаксиальных слоев Анализ тонких пленок и многослойных систем