Фотолитография и оптика  И.Н. Рубцов и др. ; Под ред. Я.А. Федотова, Г. Поля. 

 - Берлин ;  Советское радио :  1974 . Москва :  Техника, 
 - 391 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Оптика<br/>Фотолитография