Парфенов, Олег Дмитриевич <br/><br/>
Технология микросхем :  Учебное пособие / 
О.Д. Парфенов. 
 - Москва :  Вышая школа,  1977 . 
 - 254 с.  с илл. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Технология микросхем