TY  - BOOK
AU  - Бочкин,Олег Иванович
AU  - Брук,Вадим Аркадьевич
AU  - Никифорова-Денисова,Светлана Николаевна
TI  - Механическая обработка полупроводниковых материалов: Учеб. пособие для подгот. рабочих на производстве 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Высш. школа
KW  - Полупроводники - Обработка
ER  -